?采用直線電機，使搬運、推送和長度測量系統(tǒng)小型化。
?厚度：9mm，質(zhì)量：130g（行程10mm時）。
?最大推力：6N。
?重復(fù)定位精度：±5μm。
?推進測長精度：±10μm。
?最高使用頻率：500cpm。
| 系列 | 行程（mm） | 傳感器 （光學(xué)式直線 編碼器）分辨率 | 推進 瞬時最大推力 | 重復(fù) 定位 精度 | 推進 測長 精度 | 最高速度 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| LAT3F | 10, 20, 30, 50 | 1.25μm | ～6N | ±5μm | ±10μm | 400mm/s |
| LAT3M | 50 | 5μm | ～6N | ±20μm | ±40μm | 400mm/s |
| LAT3 | 10, 20, 30 | 30μm | ～6N | ±90μm | ±100μm | 400mm/s |
