?該產品為外部先導規格，可真空使用。
?鋁制一體型集裝式?可安裝DIN導軌。
?集裝型號：VV3QZ12，VV3QZ15，VV3QZ22，VV3QZ25，
VV3QZ32，VV3QZ35
| 系列 | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s?bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|---|
| VQZ100 | 0.56 | 0.30 | 0.14 | 0.35（標準） 0.9（高壓型、 高速響應型） | －100kPa |
| VQZ200 | 1.7 | 0.36 | 0.45 | 0.35（標準） 0.9（高壓型、 高速響應型） | －100kPa |
| VQZ300 | 3.0 | 0.33 | 0.72 | 0.35（標準） 0.9（高壓型、 高速響應型） | －100kPa |
