?最低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
?泄漏量：內部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。
?有2種接頭和內螺紋可選。
?消耗功率：最多削減25％。
?質量：最多減小18％ 0.5kg→0.41kg。
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | 面密封接頭 卡套式接頭 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | Rc, NPT內螺紋 | 1/8, 1/4, 3/8 |
?最低使用壓力：110-6Pa(abs)?泄漏量：內部1.310-9Pa?m3/s、外部1.310-11Pa?m3/s。?有2種接頭和內螺紋可選。?消耗功率：最多削減25％。?質量：最多減小18％ 0.5kg0.41kg。系列閥形式使用流體配管連接方
?最低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
?泄漏量：內部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。
?有2種接頭和內螺紋可選。
?消耗功率：最多削減25％。
?質量：最多減小18％ 0.5kg→0.41kg。
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | 面密封接頭 卡套式接頭 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | Rc, NPT內螺紋 | 1/8, 1/4, 3/8 |
