?防止真空回路及空氣中的污染物對元件設備造成影響。
?濾芯過濾面積大。
| 系列 | 連接口徑 | 流量 L/min（ANR） | 過濾精度(μm) |
|---|---|---|---|
| ZFA10 | 1/8 | 50 | 30 |
| ZFA20 | 1/4 | 200 | 30 |
?防止真空回路及空氣中的污染物對元件設備造成影響。?濾芯過濾面積大。系列連接口徑流量 L/min（ANR）過濾精度(μm)ZFA101/85030ZFA201/420030
?防止真空回路及空氣中的污染物對元件設備造成影響。
?濾芯過濾面積大。
| 系列 | 連接口徑 | 流量 L/min（ANR） | 過濾精度(μm) |
|---|---|---|---|
| ZFA10 | 1/8 | 50 | 30 |
| ZFA20 | 1/4 | 200 | 30 |
