?無(wú)氣體積留的精密遺體鑄造結(jié)構(gòu)。
?鋁制高真空L型閥,安裝上具有與XL系列的互換性(XM系列)。
系列 | 操作方式 | 軸密封 方式 | 閥形式 | 材質(zhì) | 法蘭 尺寸 |
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XMA/XYA | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用 (N.C.) | 主體:SCS13(相當(dāng)于SUS304) 波紋管:SUS316L | 16~80 注) |
XMC/XYC | 氣控· | 波紋管密封 | 雙作用 | 主體:SCS13(相當(dāng)于SUS304) 波紋管:SUS316L | 16~80 注) |
XMD/XYD | 氣控 | 波紋管密封 O形圈密封 | 單作用 (N.C.) | 主體:SCS13(相當(dāng)于SUS304) 波紋管:SUS316L | 25~80 |
XMH/XYH | 手動(dòng) | 波紋管密封 | 手動(dòng) | 主體:SCS13(相當(dāng)于SUS304) 波紋管:SUS316L | 16~50 注) |