?閥與針閥一體化，配管空間為原來的1/4。
?密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產生。
?初始供氣、主給気可同時進行流量調節。
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常閉 （加壓開?彈簧密封） | 氮氣、空氣、 惰性氣體等 | VCR? Swagelok? | 1/4B |
?閥與針閥一體化，配管空間為原來的1/4。?密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產生。?初始供氣、主給気可同時進行流量調節。系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸XVD常閉（加壓開?彈簧密封）氮氣、空氣、惰性氣體等VCR?Swagelok?1/4B
?閥與針閥一體化，配管空間為原來的1/4。
?密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產生。
?初始供氣、主給気可同時進行流量調節。
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常閉 （加壓開?彈簧密封） | 氮氣、空氣、 惰性氣體等 | VCR? Swagelok? | 1/4B |
